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智能型圖形反轉(zhuǎn)系統(tǒng) 充氮氣圖像翻轉(zhuǎn)設備適用于硅片、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料。
產(chǎn)品型號：廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新時間：2025-09-17訪 問 量：775
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智能型圖形反轉(zhuǎn)系統(tǒng) 充氮氣圖像翻轉(zhuǎn)設備用途：
光刻圖形反轉(zhuǎn)是一種特殊的工藝，用于制作?半導體器件。在曝光結束后，光刻膠中的圖像與想要得到的圖像是相反的，即曝光區(qū)域在顯影后會形成孔洞而不是島區(qū)。這種工藝主要用于制作孔洞結構，通過改變曝光區(qū)域和非曝光區(qū)域的相對分解率來實現(xiàn)。
智能型圖形反轉(zhuǎn)系統(tǒng)適用于硅片、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料。
智能型圖形反轉(zhuǎn)系統(tǒng)特點：
NH3監(jiān)測,報警提示功能
工藝數(shù)據(jù)記錄功能
程序鎖定保護等功能
智能型圖形反轉(zhuǎn)系統(tǒng) 充氮氣圖像翻轉(zhuǎn)設備技術性能：
1.尺寸（深*寬*高）
內(nèi)腔尺寸：300×300×300
450×450×450（mm）（可定制）
2. 材質(zhì)：外箱采用優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑，內(nèi)箱采用 316L 級不銹鋼
3.溫度范圍：RT+50-200℃
4.溫度分辨率：0.1℃
5.溫度波動度：≤±0.5
6 真空度：≤133pa（1torr）
7.電源及總功率：AC 220V±10% / 50HZ，總功率約2.8KW
8.控制儀表：人機界面，一鍵運行
9.擱板層數(shù)：2 層
10.工藝氣體：2/3路
11.真空泵：無油渦旋真空泵
智能型圖形反轉(zhuǎn)真空系統(tǒng)工藝標準
圖形反轉(zhuǎn)工藝的主要步驟為將涂膠的晶圓放置在智能型圖形反轉(zhuǎn)真空系統(tǒng)中,穿透光刻膠，改變其極性。將再進行泛光曝光，從而完成整個圖形反轉(zhuǎn)工藝。反轉(zhuǎn)工藝的效果是改變曝光區(qū)域和非曝光區(qū)域的相對分解率，在接下來的顯影步驟便可以實現(xiàn)圖形反轉(zhuǎn)了。這一工藝可以實現(xiàn)與非圖形反轉(zhuǎn)工藝同樣的分辨率.
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