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半導體烘烤設備

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SECS/GEM協議無塵烘箱，無塵烤箱工業烘箱

SECS/GEM協議無塵烘箱，無塵烤箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤。設備可以使用TCP / IP（使用HSMS標準，SEMI E37）或基于RS-232的協議與支持GEM的主機進行通信。通常這兩種協議都受支持。

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更新日期
2025-09-16

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芯片電熱鼓風烤箱，可編程鼓風烘箱

芯片電熱鼓風烤箱，可編程鼓風烘箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料預處理烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門；也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

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芯片精密循環烤箱，可編程精密烘箱

芯片精密循環烤箱，可編程精密烘箱是一種高功能、高信賴度烤箱，結構、材質強度、保溫、循環風道等均設計精良，且外形美觀、操作方便。空氣循環系統為水平式循環送風，風源由循環馬達運轉帶動風輪經電熱器，將熱風由風道送至烤箱內部，且將使用后空氣吸入風道成為風源再度循環加熱，如此可得到較佳的溫度均勻性，均勻度可達±1.5％，當門開、關動作引起擾動時，可借此送風循環系統迅速回復操作

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2025-09-16

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芯片充氮烘箱，可編程充氮烤箱工業烘箱

芯片充氮烘箱，可編程充氮烤箱充氮烤箱是一種提供高溫凈化環境的特殊潔凈烘干設備。箱內空氣封閉自循環。烘箱工作室為光亮型全不銹鋼結構，可滿足電子電器、醫藥、實驗室等生產及科研部門中凈化干燥。特殊要求溫度可達350℃-400℃并且可加裝氮氣進出口。

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2025-09-16

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芯片充氮潔凈烘箱，可編程充氮烘箱

芯片充氮潔凈烘箱，可編程充氮烘箱是一種提供高溫凈化環境的特殊潔凈烘干設備。烘箱整機為不銹鋼結構，全部采用無塵材料，箱內持續充氮，使烘箱工作室內處于潔凈狀態。工作室內溫度由溫控儀自動控制，并有自動恒溫及時間控制裝置，并附設有超溫自動停電及報警電路，控制可靠，使用安全。適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IC、醫藥、實驗室等生產及科研部門。

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2025-09-16

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